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带隙法测定SiGe/Si材料的应变状态

成步文 姚 飞 薛春来 张建国 李传波 毛容伟 左玉华 罗丽萍 王启明

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带隙法测定SiGe/Si材料的应变状态

成步文, 姚 飞, 薛春来, 张建国, 李传波, 毛容伟, 左玉华, 罗丽萍, 王启明

A method to estimate the strain state of SiGe/Si by measuring the bandgap

Cheng Bu-Wen, Yao Fei, Xue Chun-Lai, Zhang Jian-Guo, Li Chuan-Bo, Mao Rong-Wei, Zuo Yu-Hua, Luo Li-Ping, Wang Qi-Ming
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-12-19
  • 修回日期:  2005-02-23
  • 刊出日期:  2005-09-20

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