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非平衡磁控溅射法类金刚石薄膜的制备及分析

杨武保 范松华 张谷令 马培宁 张守忠 杜 健

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非平衡磁控溅射法类金刚石薄膜的制备及分析

杨武保, 范松华, 张谷令, 马培宁, 张守忠, 杜 健

Investigation of diamond-like-carbon films prepared by unbalanced magnetron sputtering

Yang Wu-Bao, Fan Song-Hua, Zhang Gu-Ling, Ma Pei-Ning, Zhang Shou-Zhong, Du Jian
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-10-22
  • 修回日期:  2004-12-10
  • 刊出日期:  2005-05-05

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