纳米碳酸盐制备阴极的蒸发特性研究

王其富; 王小霞; 罗积润

doi:10.7498/aps.60.038502

摘要

采用飞行时间质谱法和石英晶体振荡动态测试法,分析纳米碳酸盐制备储存式氧化物阴极在分解、激活过程中及不同工作温度下的蒸发特性.结果表明:纳米碳酸盐氧化物阴极纯净无杂质,能够在常规工艺过程中充分分解和激活,比普通碳酸盐氧化物阴极的活性物质更多,蒸发率更小.

关键词:

Time-of-flight mass spectroscopy and quartz crystal oscillator are used to analyze the evaporation properties of the reservoir oxide cathode coated nano-particle carbonates in decomposing and activating process at different temperatures. The results show that the purity of the reservoir oxide cathode is high. It can fully be decomposed and activated in the conventional technologic process with more freed Ba and lower evaporation rate, compared with the conventional reservoir oxide cathode.

Keywords:

作者及机构信息

1.
中国科学院电子学研究所,中国科学院高功率微波源与技术重点实验室,北京 100190

基金项目: 国家自然科学基金(批准号:50702059)资助的课题.

Authors and contacts

1.
Key Laboratory of High Power Microwave Sources and Technologies, Institute of Electronics,Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China

参考文献

[1]	Poret F, Roquais J M 2005 Appl. Sur. Sci. 251 31
[2]	Wang X X, Liao X H, Luo J R, Zhao Q L 2006 J. Electron. Inf. Tech. 28 2179(in Chinese)[王小霞、廖显恒、罗积润、赵庆兰 2006 电子与信息学报 28 2179]
[3]	Wang X X, Liao X H, Luo J R, Zhao Q L 2008 Acta Phys. Sin. 57 1924 (in Chinese)[王小霞、廖显恒、罗积润、赵庆兰 2008 物理学报 57 1924]
[4]	Wang Q F, Wang X X, Luo J R, Zhao Q L 2010 Acta Phys. Sin. 59 7375(in Chinese)[王其富、王小霞、罗积润、赵青兰 2010 物理学报 59 7375]
[5]	Becker J A 1929 Phys. Rev. 34 1323
[6]	Brodie I, Jenbinsand R O, Trodden W G 1959 J. Electr. Contr. 6 149
[7]	Gren M C, Skinner H B, Tuck H A 1981 Appl. Surf. Sci. 8 13
[8]	Guo W X 1984 J. Electron. Inf. Tech. 6 166 (in Chinese)[郭文湘 1984 电子与信息学报 6 166]
[9]	Wooren L A, Ruehie A E 1955 J. Appl. Phys. 26 44
[10]	Mooke G E, Aeeison H W 1950 Phys. Rev. 77 246
[11]	Florio J V 1963 J. Appl. Phys. 34 200
[12]	Leverton W F, Sepherd W G 1952 J. App.l Phys. 23 787
[13]	Dudley K 1961 Vacuum 1 154
[14]	Verhoeven A Th, Vandoveren H 1981 Appl. Surf. Sci. 8 95
[15]	Liu Y W, Tian H, Han Y, Zhu H, Li Y T, Xu Z Y, Meng M F, Yi H X, Lu Y X, Zhang H L, Liu P K 2009 Acta Phys. Sin. 58 8635 (in Chinese)[刘燕文、田宏、韩勇、朱虹、李玉涛、徐振英、孟鸣风、易红霞、陆玉新、张洪来、刘濮鲲 2009 物理学报 58 8635]
[16]	Yin S Y, Zhang H L, Wang Y, Liu Y W, Tian H, Zhang M C, Li Y T, Ding Y G 2006 J. Vac. Sci. Technol. 26 70 (in Chinese)[阴生毅、张洪来、王宇、刘燕文、田宏、张明晨、李玉涛、丁耀根 2006 真空科学与技术学报 26 70]
[17]	Wiley W C, Mclaren I H 1955 Rev. Sci. Instrum. 26 1150
[18]	Μαсникоб О Ю,Ущакоб А Б 2003 Availability Thermionic Cathodes (Moscow: Moscow College of Technology Physics) (in Russian)
[19]	Wang X X, Liao X H, Luo J R, Zhao Q L, Zhang X W 2009 Acta Phys. Sin. 58 1280 (in Chinese)[王小霞、廖显恒、罗积润、赵庆兰、张晓伟 2009 物理学报 58 1280]
[20]	Xue Z Q, Liu W M 2003 Nanoeletronics (Beijing: Publishing House of Electronics Industry) (in Chinese)[薛增泉、刘惟敏 2003 纳米电子学 (北京: 电子工业出版社)]
[21]	Zhang E Q 1974 Acta Phys. Sin. 23 341 (in Chinese)[张恩虬 1974 物理学报 23 341]
[22]	Zhang E Q 1976 Acta Phys. Sin. 25 23 (in Chinese)[张恩虬 1976 物理学报 25 23]
[23]	Weon B M, Dam A van, Park G S, Kim I W, Seol S K, Kwon Y B, Hwu Y, Tsai W L, Ruterana P 2003 J. Vac. Sci. Technol. B 21 2184

施引文献

[1]	Poret F, Roquais J M 2005 Appl. Sur. Sci. 251 31
[2]	Wang X X, Liao X H, Luo J R, Zhao Q L 2006 J. Electron. Inf. Tech. 28 2179(in Chinese)[王小霞、廖显恒、罗积润、赵庆兰 2006 电子与信息学报 28 2179]
[3]	Wang X X, Liao X H, Luo J R, Zhao Q L 2008 Acta Phys. Sin. 57 1924 (in Chinese)[王小霞、廖显恒、罗积润、赵庆兰 2008 物理学报 57 1924]
[4]	Wang Q F, Wang X X, Luo J R, Zhao Q L 2010 Acta Phys. Sin. 59 7375(in Chinese)[王其富、王小霞、罗积润、赵青兰 2010 物理学报 59 7375]
[5]	Becker J A 1929 Phys. Rev. 34 1323
[6]	Brodie I, Jenbinsand R O, Trodden W G 1959 J. Electr. Contr. 6 149
[7]	Gren M C, Skinner H B, Tuck H A 1981 Appl. Surf. Sci. 8 13
[8]	Guo W X 1984 J. Electron. Inf. Tech. 6 166 (in Chinese)[郭文湘 1984 电子与信息学报 6 166]
[9]	Wooren L A, Ruehie A E 1955 J. Appl. Phys. 26 44
[10]	Mooke G E, Aeeison H W 1950 Phys. Rev. 77 246
[11]	Florio J V 1963 J. Appl. Phys. 34 200
[12]	Leverton W F, Sepherd W G 1952 J. App.l Phys. 23 787
[13]	Dudley K 1961 Vacuum 1 154
[14]	Verhoeven A Th, Vandoveren H 1981 Appl. Surf. Sci. 8 95
[15]	Liu Y W, Tian H, Han Y, Zhu H, Li Y T, Xu Z Y, Meng M F, Yi H X, Lu Y X, Zhang H L, Liu P K 2009 Acta Phys. Sin. 58 8635 (in Chinese)[刘燕文、田宏、韩勇、朱虹、李玉涛、徐振英、孟鸣风、易红霞、陆玉新、张洪来、刘濮鲲 2009 物理学报 58 8635]
[16]	Yin S Y, Zhang H L, Wang Y, Liu Y W, Tian H, Zhang M C, Li Y T, Ding Y G 2006 J. Vac. Sci. Technol. 26 70 (in Chinese)[阴生毅、张洪来、王宇、刘燕文、田宏、张明晨、李玉涛、丁耀根 2006 真空科学与技术学报 26 70]
[17]	Wiley W C, Mclaren I H 1955 Rev. Sci. Instrum. 26 1150
[18]	Μαсникоб О Ю,Ущакоб А Б 2003 Availability Thermionic Cathodes (Moscow: Moscow College of Technology Physics) (in Russian)
[19]	Wang X X, Liao X H, Luo J R, Zhao Q L, Zhang X W 2009 Acta Phys. Sin. 58 1280 (in Chinese)[王小霞、廖显恒、罗积润、赵庆兰、张晓伟 2009 物理学报 58 1280]
[20]	Xue Z Q, Liu W M 2003 Nanoeletronics (Beijing: Publishing House of Electronics Industry) (in Chinese)[薛增泉、刘惟敏 2003 纳米电子学 (北京: 电子工业出版社)]
[21]	Zhang E Q 1974 Acta Phys. Sin. 23 341 (in Chinese)[张恩虬 1974 物理学报 23 341]
[22]	Zhang E Q 1976 Acta Phys. Sin. 25 23 (in Chinese)[张恩虬 1976 物理学报 25 23]
[23]	Weon B M, Dam A van, Park G S, Kim I W, Seol S K, Kwon Y B, Hwu Y, Tsai W L, Ruterana P 2003 J. Vac. Sci. Technol. B 21 2184

[1]	李岩, 陈鑫力, 王伟胜, 石智文, 竺立强. 蛋壳膜电解质栅控氧化物神经形态晶体管. 物理学报, 2023, 72(15): 157302. doi: 10.7498/aps.72.20230411
[2]	张梦, 姚若河, 刘玉荣. 纳米尺度金属-氧化物半导体场效应晶体管沟道热噪声模型. 物理学报, 2020, 69(5): 057101. doi: 10.7498/aps.69.20191512
[3]	兰林锋, 张鹏, 彭俊彪. 氧化物薄膜晶体管研究进展. 物理学报, 2016, 65(12): 128504. doi: 10.7498/aps.65.128504
[4]	王静, 刘远, 刘玉荣, 吴为敬, 罗心月, 刘凯, 李斌, 恩云飞. 铟锌氧化物薄膜晶体管局域态分布的提取方法. 物理学报, 2016, 65(12): 128501. doi: 10.7498/aps.65.128501
[5]	张立荣, 马雪雪, 王春阜, 李冠明, 夏兴衡, 罗东向, 吴为敬, 徐苗, 王磊, 彭俊彪. 基于金属氧化物薄膜晶体管的高速行集成驱动电路. 物理学报, 2016, 65(2): 028501. doi: 10.7498/aps.65.028501
[6]	胡广海, 金晓丽, 张乔枫, 谢锦林, 刘万东. 利用离子声波朗道阻尼测量氧化物阴极放电中的离子温度. 物理学报, 2015, 64(18): 189401. doi: 10.7498/aps.64.189401
[7]	徐华, 兰林锋, 李民, 罗东向, 肖鹏, 林振国, 宁洪龙, 彭俊彪. 源漏电极的制备对氧化物薄膜晶体管性能的影响. 物理学报, 2014, 63(3): 038501. doi: 10.7498/aps.63.038501
[8]	王春华, 徐浩, 万钊, 胡燕. 基于金属氧化物半导体晶体管Colpitts混沌振荡电路及其同步研究. 物理学报, 2013, 62(20): 208401. doi: 10.7498/aps.62.208401
[9]	陈海峰. 反向衬底偏压下纳米N沟道金属氧化物半导体场效应晶体管中栅调制界面产生电流特性研究. 物理学报, 2013, 62(18): 188503. doi: 10.7498/aps.62.188503
[10]	元晋鹏, 姬中华, 杨艳, 张洪山, 赵延霆, 马杰, 汪丽蓉, 肖连团, 贾锁堂. 飞行时间质谱探测磁光阱中超冷分子离子的实验研究. 物理学报, 2012, 61(18): 183301. doi: 10.7498/aps.61.183301
[11]	王燕, 姚志, 冯春雷, 刘佳宏, 丁洪斌. 355 nm激光光电离甲醛飞行时间质谱的研究. 物理学报, 2012, 61(1): 013301. doi: 10.7498/aps.61.013301
[12]	潘金艳, 张文彦, 高云龙. 基于铟锡氧化物/Ti复合电极的高亮度碳纳米管场致发射冷阴极. 物理学报, 2010, 59(12): 8762-8769. doi: 10.7498/aps.59.8762
[13]	王其富, 王小霞, 罗积润, 赵青兰. 颗粒状纳米碳酸钡锶钙的研制. 物理学报, 2010, 59(10): 7383-7389. doi: 10.7498/aps.59.7383
[14]	王小霞, 廖显恒, 罗积润, 赵青兰, 张晓伟. 新型贮存式氧化物阴极寿命机理的初步探讨. 物理学报, 2009, 58(2): 1280-1286. doi: 10.7498/aps.58.1280
[15]	王小霞, 廖显恒, 罗积润, 赵青兰. 亚微米电子发射材料的合成及发射性能. 物理学报, 2008, 57(3): 1924-1929. doi: 10.7498/aps.57.1924
[16]	石勇, 李奇峰, 汪华, 戴静华, 刘世林, 马兴孝. 由飞行时间质谱峰形获取光解碎片平动能分布. 物理学报, 2005, 54(5): 2418-2423. doi: 10.7498/aps.54.2418
[17]	刘淑荣, 江伟林, 刘家瑞, 林荫浓. 用飞行时间法研究Si溅射离子簇质谱的结构效应. 物理学报, 1991, 40(5): 703-708. doi: 10.7498/aps.40.703
[18]	李方华, 樊汉节, 张培善, 王怡华. 微区X射线能谱分析技术在研究钡-稀土氟碳酸盐矿物上的应用. 物理学报, 1983, 32(4): 460-465. doi: 10.7498/aps.32.460
[19]	樊汉节, 李方华. 碱土-铈氟碳酸盐矿物晶体结构中的无序堆垛和交生. 物理学报, 1982, 31(5): 680-684. doi: 10.7498/aps.31.680
[20]	李竹起, 阮景辉, 吴善令, 杨同华, 何敏, 陆挺, 成之绪, 陈桂英, 叶春堂. 用于凝聚态物质研究的旋转晶体中子飞行时间谱仪. 物理学报, 1980, 29(11): 1462-1470. doi: 10.7498/aps.29.1462

计量

文章访问数: 7157
PDF下载量: 575
被引次数: 0

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

搜索

留言板