Ti/Ti-类金刚石多层膜的制备与表征
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (8): 088102     doi:10.7498/aps.61.088102
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Ti/Ti-类金刚石多层膜的制备与表征
黄江涛1,谷坤明1,毛斐1,虞烈2,汤皎宁1
1. 深圳大学材料学院, 深圳市特种功能材料重点实验室, 深圳 518060;
2. 西安交通大学机械工程学院, 西安 710049
Preparation and characterization of multilayered titanium/titanium-diamond-like carbon films
Huang Jiang-Tao1,Gu Kun-Ming1,Mao Fei1,Yu Lie2,Tang Jiao-Ning1
1. Key Laboratory of Special Functional Materials of Shenzhen, School of Materials, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China;
2. College of Mechanical Engineering, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, China

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