直拉硅中氮在高温退火过程中对氧沉淀的影响
物理学报
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物理学报  2003, Vol. 52 Issue (8): 2000-2004
凝聚物质:结构、热学和力学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
直拉硅中氮在高温退火过程中对氧沉淀的影响
蒋 乐, 杨德仁, 余学功, 马向阳, 徐 进, 阙端麟
浙江大学硅材料科学国家重点实验室,杭州 310027
Effect of nitrogen on oxygen precipitation in Czochralski silicon during high-te mperature annealing
Jiang Le, Yang De-Ren, Yu Xue-Gong, Ma Xiang-Yang, Xu Jin, Que Duan-Lin
浙江大学硅材料科学国家重点实验室,杭州 310027

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