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在无定形SiO2非晶材料红外波段反常色散区介电常数研究中,复合高斯振子模型是介电常数重要的色散模型之一,复合振子中振子的数量和物理意义是重要的研究内容.基于化学计量学中的因子分析技术,提出将SiO2薄膜特征振动峰的数量等效为化学组分的振子数量的方法.采用离子束溅射沉积方法制备了厚度分别为100,200,,800 nm的8种SiO2薄膜样品,以这8个样品的红外光谱透射率作为光谱矩阵元素.通过因子分析技术确定了400-4000 cm-1波数范围内高斯振子数量为9个,使SiO2薄膜的介电常数反演计算结果具有明确的物理意义.通过对3000-4000 cm-1波数范围内介电常数的分析,确定了薄膜中具有明显的含水(或羟基)化学缺陷,并且这种缺陷影响到整个红外波段内的介电常数.
[1] Pliskin W A 1977J.Vac.Sci.Technol. 14 1064
[2] Klembergsapieha J E, Obersteberghaus J, Martinu L, Blacker R, Stevenson I, Sadkhin G, Morton D, McEldowney S, Klinger R, Martin P J, Court N, Dligatch S, Gross M, Netterfield R P 2004Appl.Opt. 43 2670
[3] Tsu D V 2000J.Vac.Sci.Technol.B 18 1796
[4] Boyd I W, Wilson J I B 1982J.Appl.Phys. 53 4166
[5] Hanna R 1965J.Am.Ceram.Soc. 48 595
[6] Lisovskii I P, Litovchenko V G, Lozinskii V G, Steblovskii G I 1992Thin Solid Films 213 164
[7] Gillette P C, Lando J B, Koenig J L 1982Appl.Spectrosc. 36 401
[8] Hu S M 1980J.Appl.Phys. 51 5945
[9] Martinet C, Devine R A B 1995J.Appl.Phys. 77 4343
[10] Meneses D D S, Malki M, Echegut P 2006J.Non-Cryst.Solids 352 769
[11] Liu H S, Jiang C H, Wang L S, Liu D D, Jiang Y G, Sun P, Ji Y Q 2014Spectrosc.Spect.Anal. 34 1163(in Chinese)[刘华松, 姜承慧, 王利栓, 刘丹丹, 姜玉刚, 孙鹏, 季一勤2014光谱学与光谱分析34 1163]
[12] Liu H S, Ji Y Q, Zhang F, Liu D D, Leng J, Wang L S, Jiang Y G, Chen D Y, Jiao H F, Bao G H, Cheng X B 2014Acta Opt.Sin. 34 0831003(in Chinese)[刘华松, 季一勤, 张锋, 刘丹丹, 冷健, 王利栓, 姜玉刚, 陈德应, 焦宏飞, 鲍刚华, 程鑫彬2014光学学报34 0831003]
[13] Gillette P C, Koenig J L 1984Appl.Spectrosc. 38 334
[14] Gillette P C, Lando J B, Koenig J L 2009Phys.Rev.D 79 107
[15] Yang X Z, Zhu S N, Zhu S G 1987Chem.Online 6 58(in Chinese)[杨小震, 朱善农, 朱善工1987化学通报6 58]
[16] Pulker H K 1999Coating on Glass(2m nd Ed.)(New York:Elsevier Science) pp352-353
[17] Mcmillan P F, Remmele R L 1986American Mineral. 71 772
[18] Brunetbruneau A, Rivory J, Rafin, Robic J Y, Chaton P 1997J.Appl.Phys. 82 1330
[19] Gunde M K 2000Physica B 292 286
[20] Kanashima T, Okuyama M, Hamakawa Y 1997Jpn.J.Appl.Phys. 36 1448
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[1] Pliskin W A 1977J.Vac.Sci.Technol. 14 1064
[2] Klembergsapieha J E, Obersteberghaus J, Martinu L, Blacker R, Stevenson I, Sadkhin G, Morton D, McEldowney S, Klinger R, Martin P J, Court N, Dligatch S, Gross M, Netterfield R P 2004Appl.Opt. 43 2670
[3] Tsu D V 2000J.Vac.Sci.Technol.B 18 1796
[4] Boyd I W, Wilson J I B 1982J.Appl.Phys. 53 4166
[5] Hanna R 1965J.Am.Ceram.Soc. 48 595
[6] Lisovskii I P, Litovchenko V G, Lozinskii V G, Steblovskii G I 1992Thin Solid Films 213 164
[7] Gillette P C, Lando J B, Koenig J L 1982Appl.Spectrosc. 36 401
[8] Hu S M 1980J.Appl.Phys. 51 5945
[9] Martinet C, Devine R A B 1995J.Appl.Phys. 77 4343
[10] Meneses D D S, Malki M, Echegut P 2006J.Non-Cryst.Solids 352 769
[11] Liu H S, Jiang C H, Wang L S, Liu D D, Jiang Y G, Sun P, Ji Y Q 2014Spectrosc.Spect.Anal. 34 1163(in Chinese)[刘华松, 姜承慧, 王利栓, 刘丹丹, 姜玉刚, 孙鹏, 季一勤2014光谱学与光谱分析34 1163]
[12] Liu H S, Ji Y Q, Zhang F, Liu D D, Leng J, Wang L S, Jiang Y G, Chen D Y, Jiao H F, Bao G H, Cheng X B 2014Acta Opt.Sin. 34 0831003(in Chinese)[刘华松, 季一勤, 张锋, 刘丹丹, 冷健, 王利栓, 姜玉刚, 陈德应, 焦宏飞, 鲍刚华, 程鑫彬2014光学学报34 0831003]
[13] Gillette P C, Koenig J L 1984Appl.Spectrosc. 38 334
[14] Gillette P C, Lando J B, Koenig J L 2009Phys.Rev.D 79 107
[15] Yang X Z, Zhu S N, Zhu S G 1987Chem.Online 6 58(in Chinese)[杨小震, 朱善农, 朱善工1987化学通报6 58]
[16] Pulker H K 1999Coating on Glass(2m nd Ed.)(New York:Elsevier Science) pp352-353
[17] Mcmillan P F, Remmele R L 1986American Mineral. 71 772
[18] Brunetbruneau A, Rivory J, Rafin, Robic J Y, Chaton P 1997J.Appl.Phys. 82 1330
[19] Gunde M K 2000Physica B 292 286
[20] Kanashima T, Okuyama M, Hamakawa Y 1997Jpn.J.Appl.Phys. 36 1448
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