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FIB快速加工纳米孔点阵的新方法

L. H. Li 陈雷明 李培刚 符秀丽 唐为华 张海英

FIB快速加工纳米孔点阵的新方法

L. H. Li, 陈雷明, 李培刚, 符秀丽, 唐为华, 张海英
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-05-25
  • 修回日期:  2004-06-11
  • 刊出日期:  2005-03-01

FIB快速加工纳米孔点阵的新方法

  • 1. (1)Department of Physics,University of Rhode Island,Kingston,RI02881,USA; (2)中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京 100080; (3)中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京 100080;北京师范大学物理系,北京 100875
    基金项目: 

    中国科学院百人计划和国家自然科学基金优秀创新研究群体项目(批准号:60321001)资助的 课题.

摘要: 纳米尺度的点阵在纳米器件和基础科学研究方面都具有非常重要的应用.目前普遍采用的聚焦离子束和电子束曝光技术可以很方便的在衬底上加工纳米量级的微细结构,但大面积的图形加工过程需要花费太多的机时.介绍一种利用设计图形BMP文件的像素点阵和实际加工区域之间的匹配关系,通过聚焦离子束加工获得所需要的纳米孔点阵的新方法.采用这种方法可以在短时间内获得大面积的纳米点阵结构.

English Abstract

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