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脉冲偏压电弧离子镀C-N-V薄膜的成分、结构与性能

李红凯 林国强 董闯

脉冲偏压电弧离子镀C-N-V薄膜的成分、结构与性能

李红凯, 林国强, 董闯
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  • 用脉冲偏压电弧离子镀方法在硬质合金基体上制备了一系列不同成分的C-N-V薄膜.用X射线光电子能谱、激光Raman光谱、 X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和纳米压痕等方法分别研究了薄膜的成分、结构与性能.Raman光谱,XRD和TEM结果表明,所制备的薄膜为在类金刚石(DLC)非晶基体上匹配有VN晶体的碳基复合薄膜.随V和N含量的增加,薄膜硬度与弹性模量先增加后下降,在N含量为204%,V含量为218%时薄膜硬度与弹性模量具有最大值,分别为368和5697 GPa,高于相同条件下制备的
    • 基金项目: 国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z521)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-09-07
  • 修回日期:  2010-01-11
  • 刊出日期:  2010-06-15

脉冲偏压电弧离子镀C-N-V薄膜的成分、结构与性能

  • 1. 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室,大连 116085
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z521)资助的课题.

摘要: 用脉冲偏压电弧离子镀方法在硬质合金基体上制备了一系列不同成分的C-N-V薄膜.用X射线光电子能谱、激光Raman光谱、 X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)和纳米压痕等方法分别研究了薄膜的成分、结构与性能.Raman光谱,XRD和TEM结果表明,所制备的薄膜为在类金刚石(DLC)非晶基体上匹配有VN晶体的碳基复合薄膜.随V和N含量的增加,薄膜硬度与弹性模量先增加后下降,在N含量为204%,V含量为218%时薄膜硬度与弹性模量具有最大值,分别为368和5697 GPa,高于相同条件下制备的

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参考文献 (25)

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