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Ti-B-C-N纳米复合薄膜结构及力学性能研究

罗庆洪 陆永浩 娄艳芝

Ti-B-C-N纳米复合薄膜结构及力学性能研究

罗庆洪, 陆永浩, 娄艳芝
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  • 利用反应磁控溅射方法在单晶硅和高速钢(W18Cr4V)基片上制备出不同C含量Ti-B-C-N纳米复合薄膜. 使用X射线衍射和高分辨透射电子显微镜研究了Ti-B-C-N纳米复合薄膜的组织和微观结构,用纳米压痕仪测试了它们的硬度和弹性模量. 结果表明,利用往真空室通入C2H2气体的方法制备得到的Ti-B-C-N纳米复合薄膜中,在所研究成分范围内只发现TiN基的纳米晶. 当C2H2流量较小时,C元素的加入可以促进Ti-B-C
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号.50871018)资助的课题.
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    Shimada S, Takahashi M, Tsujino J, Yamazaki I, Tsuda K 2007 Surf. Coat. Technol. 201 7194

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    Mollart T P, Haupt J, Gilmore R, Gissler W 1996 Surf. Coat. Technol. 86 231

    [16]

    Vyas A, Lu Y H, Shen Y G 2010 Surf. Coat. Technol. 204 1528

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    Musil J, Regent F 1998 J. Vac. Sci. Technol. A 16 3301

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    Lawn B, Evans A, Marshall D 1980 J. Am. Ceram. Soc. 63 574

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    [13] 罗菊, 韩敬华. 激光等离子体去除微纳颗粒的热力学研究. 物理学报, 2020, (): . doi: 10.7498/aps.69.20191933
    [14] 杨永霞, 李玉叶, 古华光. Pre-Bötzinger复合体的从簇到峰放电的同步转迁及分岔机制. 物理学报, 2020, 69(4): 040501. doi: 10.7498/aps.69.20191509
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  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2010-07-19
  • 修回日期:  2011-01-28
  • 刊出日期:  2011-08-15

Ti-B-C-N纳米复合薄膜结构及力学性能研究

  • 1. 北京航空材料研究院, 北京 100095;
  • 2. 北京科技大学材料物理与化学系, 北京 100083
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号.50871018)资助的课题.

摘要: 利用反应磁控溅射方法在单晶硅和高速钢(W18Cr4V)基片上制备出不同C含量Ti-B-C-N纳米复合薄膜. 使用X射线衍射和高分辨透射电子显微镜研究了Ti-B-C-N纳米复合薄膜的组织和微观结构,用纳米压痕仪测试了它们的硬度和弹性模量. 结果表明,利用往真空室通入C2H2气体的方法制备得到的Ti-B-C-N纳米复合薄膜中,在所研究成分范围内只发现TiN基的纳米晶. 当C2H2流量较小时,C元素的加入可以促进Ti-B-C

English Abstract

参考文献 (33)

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