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PtSi超薄膜厚度的一种检测方法研究

李昆 刘爽 宁永功 张毅 张怀武 陈艾 刘俊刚 杨家德

PtSi超薄膜厚度的一种检测方法研究

李昆, 刘爽, 宁永功, 张毅, 张怀武, 陈艾, 刘俊刚, 杨家德
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-12-15
  • 修回日期:  2001-02-23
  • 刊出日期:  2001-08-20

PtSi超薄膜厚度的一种检测方法研究

  • 1. (1)材料工程研究所,新加坡119260; (2)电子科技大学信息材料工程学院,成都610054; (3)重庆光电技术研究所,重庆400060

摘要: 介绍了采用角分辨X-射线光电子解谱(angle resolved X-ray photoelectric spectrum(ARXPS))测试薄膜不同角度光电子能谱强度,计算电子平均自由程,从而计算出PtSi超薄膜厚度的方法,并给出其透射电子显微镜(TEM)晶格象验证结果.实验表明该方法简单易行,适用于其他超薄膜厚度的测量

English Abstract

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