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椭偏光谱对复数折射率薄膜的研究——ITO膜光学常数的色散和生长规律

冯洪安 余玉贞 黄炳忠

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椭偏光谱对复数折射率薄膜的研究——ITO膜光学常数的色散和生长规律

冯洪安, 余玉贞, 黄炳忠

A STUDY ON THIN FILM WITH COMPLEX REFRACTION INDEX BY SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY——OPTICAL CONSTANT DISPERION AND GROWTH RATE OF ITO

FENG HONG-AN, YU YU-ZHEN, HUANG BING-ZHONG
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出版历程
  • 收稿日期:  1985-04-15
  • 刊出日期:  2005-07-14

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