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快速退火后重掺硼的分子束外延层的电学特性

袁健 陆昉 孙恒慧 卫星 杨敏 黄大鸣 徐宏来 沈鸿烈 邹世昌

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快速退火后重掺硼的分子束外延层的电学特性

袁健, 陆昉, 孙恒慧, 卫星, 杨敏, 黄大鸣, 徐宏来, 沈鸿烈, 邹世昌

STUDY OF ELECTRICAL PROPERTIES OF HEAVILY BORON DOPED Si EPILAYER AFTER RAPID THERMAL ANNEALING

YUAN JIAN, LU FANG, SUN HENG-HUI, WEI XING, YANG MIN, HUANG DA-MING, XU HONG-LAI, SHEN HONG-LIE, ZOU SHI-CHANG
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-07-26
  • 刊出日期:  1994-07-20

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