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1MeV Si+衬底加温注入Al0.3Ga0.7As/GaAs超晶格和GaAs的晶格损伤研究

李岱青 宫宝安 万亚 朱沛然 周俊思 徐天冰 穆善明 赵清太 王忠烈

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1MeV Si+衬底加温注入Al0.3Ga0.7As/GaAs超晶格和GaAs的晶格损伤研究

李岱青, 宫宝安, 万亚, 朱沛然, 周俊思, 徐天冰, 穆善明, 赵清太, 王忠烈

STUDIES OF LATTICE DAMAGE CAUSED BY 1MeV Si+ IMPLANTATION INTO Al0.3Ga0.7As/GaAs SUPERLATTICES AND GaAs AT ELEVATED SUBSTRATE TEMPERATURE

LI DAI-QING, GONG BAO-AN, WAN YA, ZHU PEI-RAN, ZHOU JUN-SI, XU TIAN-BING, MU SHAN-MING, ZHAO QING-TAI, WANG ZHONG-LIE
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-10-14
  • 刊出日期:  1994-04-05

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