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基于小波变换Cu-W薄膜表面形貌表征与硬度值分散性评价

汪 渊 白宣羽 徐可为

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基于小波变换Cu-W薄膜表面形貌表征与硬度值分散性评价

汪 渊, 白宣羽, 徐可为

Morphological characterization and nanoindentation hardness scatter evaluation for Cu-W thin films based on wavelet transform

Wang Yuan, Bai Xuan-Yu, Xu Ke-Wei
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-07-10
  • 修回日期:  2003-10-30
  • 刊出日期:  2004-07-15

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