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射频磁控溅射法制备SnO2:Sb薄膜的结构和光致发光性质研究

王玉恒 马 瑾 计 峰 余旭浒 张锡健 马洪磊

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射频磁控溅射法制备SnO2:Sb薄膜的结构和光致发光性质研究

王玉恒, 马 瑾, 计 峰, 余旭浒, 张锡健, 马洪磊

Structural and photoluminescence characters of SnO22:Sb thin films pr epared by rf magnetron sputtering

Wang Yu-Heng, Ma Jin, Ji Feng, Yu Xu-Hu, Zhang Xi-Jian, Ma Hong-Lei
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-06-21
  • 修回日期:  2004-09-02
  • 刊出日期:  2005-02-05

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