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CH4或CH4+Ar介质阻挡放电中的离子能量和类金刚石膜制备

刘艳红 张家良 王卫国 李 建 刘东平 马腾才

引用本文:
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CH4或CH4+Ar介质阻挡放电中的离子能量和类金刚石膜制备

刘艳红, 张家良, 王卫国, 李 建, 刘东平, 马腾才

Deposition of diamond-like carbon and analysis of ion energy in CH4 or CH4+Ar dielectric barrier discharge plasma

Liu Yan-Hong, Zhang Jia-Liang, Wang Wei-Guo, Li Jian, Liu Dong-Ping, Ma Teng-Cai
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-06-02
  • 修回日期:  2005-08-05
  • 刊出日期:  2006-03-20

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