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工作气压对磁控溅射ZnO薄膜结晶特性及生长行为的影响

刘志文 谷建峰 付伟佳 孙成伟 李 勇 张庆瑜

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工作气压对磁控溅射ZnO薄膜结晶特性及生长行为的影响

刘志文, 谷建峰, 付伟佳, 孙成伟, 李 勇, 张庆瑜

Influence of working pressure on the crystallinity and growth behavior of ZnO films deposited by reactive radio-frequency magnetron sputtering

Liu Zhi-Wen, Gu Jian-Feng, Fu Wei-Jia, Sun Cheng-Wei, Li Yong, Zhang Qing-Yu
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-03-22
  • 修回日期:  2006-04-08
  • 刊出日期:  2006-05-05

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