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反应磁控溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长和超硬效应

刘 艳 董云杉 岳建岭 李戈扬

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反应磁控溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长和超硬效应

刘 艳, 董云杉, 岳建岭, 李戈扬

Crystal growth and superhardness effects of ZrN/AlON nanomultilayers synthesized by reactive magnetron sputtering

Liu Yan, Dong Yun-Shan, Yue Jian-Ling, Li Ge-Yang
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-02-22
  • 修回日期:  2006-04-07
  • 刊出日期:  2006-11-20

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