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Si3N4的晶体化和ZrN/Si3N4纳米多层膜的超硬效应

赵文济 董云杉 岳建岭 李戈扬

引用本文:
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Si3N4的晶体化和ZrN/Si3N4纳米多层膜的超硬效应

赵文济, 董云杉, 岳建岭, 李戈扬

Crystallization of Si3N4 and superhardness effect of ZrN/Si3N4 nano-multilayers

Zhao Wen-Ji, Dong Yun-Shan, Yue Jian-Ling, Li Ge-Yang
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-04-10
  • 修回日期:  2006-06-06
  • 刊出日期:  2007-01-08

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