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立方氮化硼薄膜生长过程中的界面控制

杨杭生 谢英俊

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立方氮化硼薄膜生长过程中的界面控制

杨杭生, 谢英俊

Controlling the interfacial structure of cubic boron nitride thin film prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Yang Hang-Sheng, Xie Ying-Jun
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-11-23
  • 修回日期:  2007-01-12
  • 刊出日期:  2007-09-20

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