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N掺杂对a-SiC:H基介质扩散阻挡层结构及性能的影响

刘波 唐文进 宋忠孝 陈亚芍 徐可为

引用本文:
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N掺杂对a-SiC:H基介质扩散阻挡层结构及性能的影响

刘波, 唐文进, 宋忠孝, 陈亚芍, 徐可为

Effect of N-doping on the microstructure and properties of amorphous SiC:H diffusion barrier films

Liu Bo, Tang Wen-Jin, Song Zhong-Xiao, Chen Ya-Shao, Xu Ke-Wei
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-07-26
  • 修回日期:  2008-09-18
  • 刊出日期:  2009-03-20

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