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非化学计量比靶材溅射制备Cu-Al-O薄膜的光学电学性质研究

潘佳奇 朱承泉 李育仁 兰伟 苏庆 刘雪芹 谢二庆

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非化学计量比靶材溅射制备Cu-Al-O薄膜的光学电学性质研究

潘佳奇, 朱承泉, 李育仁, 兰伟, 苏庆, 刘雪芹, 谢二庆

Electrical and optical properties of Cu-Al-O thin films sputtered using non-stoichiometric target

Pan Jia-Qi, Zhu Chen-Quan, Li Yu-Ren, Lan Wei, Su Qing, Liu Xue-Qin, Xie Er-Qing
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-01-07
  • 修回日期:  2011-01-26
  • 刊出日期:  2011-11-15

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