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a-Si:H薄膜中SiyHx结构组态的原子模拟研究

翟世铭 廖黄盛 周耐根 黄海宾 周浪

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a-Si:H薄膜中SiyHx结构组态的原子模拟研究

翟世铭, 廖黄盛, 周耐根, 黄海宾, 周浪

Atomic simulation of SiyHx structure configuration in a-Si:H thin films

Zhai Shi-Ming, Liao Huang-Sheng, Zhou Nai-Gen, Huang Hai-Bin, Zhou Lang
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出版历程
  • 收稿日期:  2019-08-22
  • 修回日期:  2020-02-06
  • 刊出日期:  2020-04-05

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