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椭偏透射法测量氢化非晶硅薄膜厚度和光学参数

廖乃镘 李 伟 蒋亚东 匡跃军 祁康成 李世彬 吴志明

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椭偏透射法测量氢化非晶硅薄膜厚度和光学参数

廖乃镘, 李 伟, 蒋亚东, 匡跃军, 祁康成, 李世彬, 吴志明

Thickness and optical constant determination of hydrogenated amorphous silicon thin film from transmittance spectra of ellipsometer

Liao Nai-Man, Li Wei, Jiang Ya-Dong, Kuang Yue-Jun, Qi Kang-Cheng, Li Shi-Bin, Wu Zhi-Ming
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-05-13
  • 修回日期:  2007-06-14
  • 刊出日期:  2008-03-20

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