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螺旋波等离子体制备多种碳基薄膜原位诊断研究

季佩宇 黄天源 陈佳丽 诸葛兰剑 吴雪梅

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螺旋波等离子体制备多种碳基薄膜原位诊断研究

季佩宇, 黄天源, 陈佳丽, 诸葛兰剑, 吴雪梅

In-situ diagnosis of Ar/CH4 helicon wave plasma for synthesis of carbon nanomaterials

Ji Pei-Yu, Huang Tian-Yuan, Chen Jia-Li, Zhuge Lan-Jian, Wu Xue-Mei
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出版历程
  • 收稿日期:  2020-10-30
  • 修回日期:  2021-01-18
  • 上网日期:  2021-04-20
  • 刊出日期:  2021-05-05

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