搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

非平衡磁控溅射系统磁场的半解析法

韩 亮 赵玉清 张海波

引用本文:
Citation:

非平衡磁控溅射系统磁场的半解析法

韩 亮, 赵玉清, 张海波

The research on half-analytical method in calculating the magnetic field of unbalanced magnetron sputtering

Han Liang, Zhao Yu-Qing, Zhang Hai-Bo
PDF
导出引用
计量
  • 文章访问数:  7982
  • PDF下载量:  1383
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2007-05-08
  • 修回日期:  2007-05-15
  • 刊出日期:  2008-01-05

/

返回文章
返回