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半导体中浅杂质的傅里叶变换光热电离光谱

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半导体中浅杂质的傅里叶变换光热电离光谱

FOURIER TRANSFORM PHOTOTHERMAL IONIZATION SPEC-TROSCOPY OF SHALLOW IMPURITIES IN SEMICONDUCTORS

YU ZHI-YI, HUANG YE-XIAO, CHEN JIAN-XIANG, YE HONG-JUAN, SHEN XUE-CHU, E. E. HALLER
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-01-15
  • 刊出日期:  2005-07-08

半导体中浅杂质的傅里叶变换光热电离光谱

  • 1. 中国科学院上海技术物理研究所红外物理开放研究实验室

摘要: 本文报道与快扫描傅里叶变换红外光谱仪相结合的光热电离光谱实验装置和测量系统。采用该系统高分辨率、高灵敏度地研究和测量高纯锗和高纯硅中的剩余浅杂质获得成功。在P型超纯Ge中发现浓度低达108cm-3的硼受主杂质的光热电离谱线,而探测灵敏度则至少可达107cm-3;在n型高纯Si中观测到Li-O复合型浅施主中心D(Li,O);施加本征激发光后在P型高纯Si中同时观察到B受主和P施主的跃迁谱线系。此外,在Si,Ge中均观察到

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