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同质硅分子束外延层的界面缺陷的研究

陆昉 龚大卫 孙恒慧

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同质硅分子束外延层的界面缺陷的研究

陆昉, 龚大卫, 孙恒慧

A STUDY OF THE INTERFACIAL DEFECTS IN MOLECULAR BEAM EPITAXIAL SILICON

LU FANG, GONG DA-WEI, SUN HENG-HUI
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-07-26
  • 刊出日期:  1994-07-20

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