| [1] |
李鑫, 曾明, 刘辉, 宁中喜, 于达仁. 应用于电推进的碘工质电子回旋共振等离子体源. 物理学报,
2023, 72(22): 225202.
doi: 10.7498/aps.72.20230785
|
| [2] |
夏旭, 杨涓, 付瑜亮, 吴先明, 耿海, 胡展. 2 cm电子回旋共振离子推力器离子源中磁场对等离子体特性与壁面电流影响的数值模拟. 物理学报,
2021, 70(7): 075204.
doi: 10.7498/aps.70.20201667
|
| [3] |
孙安邦, 李晗蔚, 许鹏, 张冠军. 流注放电低温等离子体中电子输运系数计算的蒙特卡罗模型. 物理学报,
2017, 66(19): 195101.
doi: 10.7498/aps.66.195101
|
| [4] |
袁忠才, 时家明. 高功率微波与等离子体相互作用理论和数值研究. 物理学报,
2014, 63(9): 095202.
doi: 10.7498/aps.63.095202
|
| [5] |
周前红, 董志伟, 陈京元. 110 GHz微波电离大气产生等离子体过程的理论研究. 物理学报,
2011, 60(12): 125202.
doi: 10.7498/aps.60.125202
|
| [6] |
高碧荣, 刘悦. 电子回旋共振等离子体密度均匀性的数值研究. 物理学报,
2011, 60(4): 045201.
doi: 10.7498/aps.60.045201
|
| [7] |
卢洪伟, 胡立群, 周瑞杰, 许平, 钟国强, 林士耀, 王少锋. HT-7 Tokamak离子回旋波和低杂波等离子体逃逸电子行为研究. 物理学报,
2010, 59(10): 7175-7181.
doi: 10.7498/aps.59.7175
|
| [8] |
柯博, 汪磊, 倪添灵, 丁芳, 陈牧笛, 周海洋, 温晓辉, 朱晓东. 电子回旋共振-射频双等离子体沉积氧化硅薄膜过程中的射频偏压效应. 物理学报,
2010, 59(2): 1338-1343.
doi: 10.7498/aps.59.1338
|
| [9] |
杨涓, 石峰, 杨铁链, 孟志强. 电子回旋共振离子推力器放电室等离子体数值模拟. 物理学报,
2010, 59(12): 8701-8706.
doi: 10.7498/aps.59.8701
|
| [10] |
王叶安, 秦福文, 吴东江, 吴爱民, 徐 茵, 顾 彪. 基于电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积技术生长GaMnN稀磁半导体的研究. 物理学报,
2008, 57(1): 508-513.
doi: 10.7498/aps.57.508
|
| [11] |
龚学余, 彭晓炜, 谢安平, 刘文艳. 托卡马克等离子体不同运行模式下的电子回旋波电流驱动. 物理学报,
2006, 55(3): 1307-1314.
doi: 10.7498/aps.55.1307
|
| [12] |
李 弘, 苏 铁, 欧阳亮, 王慧慧, 白小燕, 陈志鹏, 刘万东. 电子束产生大尺度等离子体过程的数值模拟研究. 物理学报,
2006, 55(7): 3506-3513.
doi: 10.7498/aps.55.3506
|
| [13] |
吴振宇, 杨银堂, 汪家友. 微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积法制备非晶氟化碳薄膜的研究. 物理学报,
2006, 55(5): 2572-2577.
doi: 10.7498/aps.55.2572
|
| [14] |
陈 卓, 何 威, 蒲以康. 电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量. 物理学报,
2005, 54(5): 2153-2157.
doi: 10.7498/aps.54.2153
|
| [15] |
叶 超, 杜 伟, 宁兆元, 程珊华. 栅网与偏压对CHF3电子回旋共振放电等离子体特性的影响. 物理学报,
2003, 52(7): 1802-1807.
doi: 10.7498/aps.52.1802
|
| [16] |
宁兆元, 程珊华, 叶超. 电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积a-CFx薄膜的化学键结构. 物理学报,
2001, 50(3): 566-571.
doi: 10.7498/aps.50.566
|
| [17] |
叶超, 宁兆元, 程珊华. 电子回旋共振等离子体增强沉积氟化非晶碳薄膜的光学性质. 物理学报,
2001, 50(10): 2017-2022.
doi: 10.7498/aps.50.2017
|
| [18] |
叶超, 宁兆元, 程珊华, 康健. 微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法沉积氟化非晶碳薄膜的研究. 物理学报,
2001, 50(4): 784-789.
doi: 10.7498/aps.50.784
|
| [19] |
刘明海, 胡希伟, 邬钦崇, 俞国扬. 电子回旋共振等离子体源的数值模拟. 物理学报,
2000, 49(3): 497-501.
doi: 10.7498/aps.49.497
|
| [20] |
杜小龙, 陈广超, 江德仪, 姚鑫兹, 朱鹤孙. 电子回旋共振等离子体特性及其对生长氮化镓晶膜的影响. 物理学报,
1999, 48(2): 257-266.
doi: 10.7498/aps.48.257
|
下载:
