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超薄栅氧化层n-MOSFET软击穿后的导电机制

王彦刚 许铭真 谭长华 段小蓉

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超薄栅氧化层n-MOSFET软击穿后的导电机制

王彦刚, 许铭真, 谭长华, 段小蓉

Conduction mechanism of ultra-thin gate oxide n-MOSFET after soft breakdown

Wang Yan-Gang, Xu Ming-Zhen, Tan Chang-Hua, Duan Xiao-Rong
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-01-07
  • 修回日期:  2005-03-11
  • 刊出日期:  2005-04-05

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