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离子振荡对低压脉冲负电性放电条件的影响

吴衍青 肖体乔

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离子振荡对低压脉冲负电性放电条件的影响

吴衍青, 肖体乔

The effect of ion oscillation on the self-sustenance of low pressure electronegative discharge

Wu Yan-Qing, Xiao Ti-Qiao
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-07-11
  • 修回日期:  2005-12-04
  • 刊出日期:  2006-07-20

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