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利用溅射原子角分布规律改进平行板静电场法

谢国锋

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利用溅射原子角分布规律改进平行板静电场法

谢国锋

Improving parallel electrode method by sputtering atoms' angle distribution rule

Xie Guo-Feng
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-03-23
  • 修回日期:  2007-04-16
  • 刊出日期:  2008-03-20

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