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SiC外延层表面化学态的研究

马格林 张玉明 张义门 马仲发

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SiC外延层表面化学态的研究

马格林, 张玉明, 张义门, 马仲发

Study on the chemical states of the surface of SiC epilayer

Ma Ge-Lin, Zhang Yu-Ming, Zhang Yi-Men, Ma Zhong-Fa
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-04
  • 修回日期:  2007-09-13
  • 刊出日期:  2008-07-20

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