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Sb2Te3热电薄膜的离子束溅射制备与表征

范平 郑壮豪 梁广兴 张东平 蔡兴民

引用本文:
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Sb2Te3热电薄膜的离子束溅射制备与表征

范平, 郑壮豪, 梁广兴, 张东平, 蔡兴民

Preparation and characterization of Sb2Te3 thermoelectric thin films by ion beam sputtering

Fan Ping, Zheng Zhuang-Hao, Liang Guang-Xing, Zhang Dong-Ping, Cai Xing-Min
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-09-15
  • 修回日期:  2009-10-20
  • 刊出日期:  2010-01-05

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