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直流三极溅射法制备CuInS2 薄膜

于丹阳 小林康之 小林敏志

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直流三极溅射法制备CuInS2 薄膜

于丹阳, 小林康之, 小林敏志

Preparation and structure of CuInS2 film by the direct current triode sputtering

Yu Dan-Yang, Kobayashi-Yasuyuki, Kobayashi-Satoshi
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-01-30
  • 修回日期:  2012-04-03

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