氮化硅薄膜中硅纳米颗粒的形成机制研究
物理学报
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物理学报  2012, Vol. 61 Issue (14): 148106     doi:10.7498/aps.61.148106
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氮化硅薄膜中硅纳米颗粒的形成机制研究
邹祥云1 2, 苑进社1 2, 蒋一祥1 2
1. 重庆师范大学物理与电子工程学院, 重庆 400047;
2. 重庆市高校光学工程重点实验室, 重庆 400047
The formation mechanism of the silicon nano-clusters embedded in silicon nitride
Zou Xiang-Yun1 2, Yuan Jin-She1 2, Jiang Yi-Xiang1 2
1. Department of Physics, Chongqing Normal University, Chongqing 400047, China;
2. The Key Laboratory of Optical Engineering, Chongqing 400047, China

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