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蓝宝石衬底SnO2:Sb薄膜的制备及结构和光致发光性质

葛松华 冯先进 马 瑾 计 峰 王永利 杨 帆 马洪磊

蓝宝石衬底SnO2:Sb薄膜的制备及结构和光致发光性质

葛松华, 冯先进, 马 瑾, 计 峰, 王永利, 杨 帆, 马洪磊
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-06-09
  • 修回日期:  2007-03-07
  • 刊出日期:  2007-08-20

蓝宝石衬底SnO2:Sb薄膜的制备及结构和光致发光性质

  • 1. (1)青岛科技大学物理系,青岛 266061; (2)山东大学物理与微电子学院,济南 250100
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:90401004)资助的课题.

摘要: 用射频磁控溅射法在蓝宝石(0001)衬底上制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2:Sb)薄膜.对制备薄膜的结构和发光性质进行了研究.制备样品为多晶薄膜,具有纯SnO2的四方金红石结构.室温条件下对样品进行光致发光测量,在334 nm附近观测到紫外发射峰,并对SnO2:Sb的光致发光机制进行了研究.

English Abstract

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