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自离子辐照对兆伏注P+硅中二次缺陷的影响

田人和 张孝吉 吴瑜光 张荟星

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自离子辐照对兆伏注P+硅中二次缺陷的影响

田人和, 张孝吉, 吴瑜光, 张荟星

EFFECTS OF SELF-ION IRRADIATION ON SECONDARY DEFECTS IN MeV P+-IMPLANTED Si

TIAN REN-HE, ZHANG XIAO-JI, WU YU-GUANG, ZHANG HUI-XING
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-09-22
  • 修回日期:  1997-12-04
  • 刊出日期:  1998-03-05

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