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多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断

辛 煜 狄小莲 虞一青 宁兆元

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多源感应耦合等离子体的产生及等离子体诊断

辛 煜, 狄小莲, 虞一青, 宁兆元

Generation of multi-source inductively coupled plasma and its diagnostics

Xin Yu, Di Xiao-Lian, Yu Yi-Qing, Ning Zhao-Yuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-11-28
  • 修回日期:  2005-12-15
  • 刊出日期:  2006-07-20

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