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平板型感应耦合等离子体源的线圈配置对功率耦合效率的影响

狄小莲 辛 煜 宁兆元

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平板型感应耦合等离子体源的线圈配置对功率耦合效率的影响

狄小莲, 辛 煜, 宁兆元

Effect of antenna configuration on power transfer efficiency for planar inductively coupled plasmas

Di Xiao-Lian, Xin Yu, Ning Zhao-Yuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-12-06
  • 修回日期:  2006-01-24
  • 刊出日期:  2006-05-05

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