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螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究

于 威 王保柱 杨彦斌 路万兵 傅广生

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螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究

于 威, 王保柱, 杨彦斌, 路万兵, 傅广生

Optical emission diagnosis of helicon-wave-plasma-enhanced chemical vapor deposition of nanocrystalline silicon

Yu Wei, Wang Bao-Zhu, Yang Yan-Bin, Lu Wan-Bing, Fu Guang-Sheng
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-08-24
  • 修回日期:  2004-09-27
  • 刊出日期:  2005-05-10

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