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直流弧光放电化学气相沉积(CVD)法制备金刚石薄膜及其等离子体的光发射谱原位测量

张仿清 张亚非 杨映虎 李敬起 陈光华 蒋翔六

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直流弧光放电化学气相沉积(CVD)法制备金刚石薄膜及其等离子体的光发射谱原位测量

张仿清, 张亚非, 杨映虎, 李敬起, 陈光华, 蒋翔六

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ZHANG FANG-QING, ZHANG YA-FEI, YANG YING-HU, LI JING-QI, CHEN GUANG-HUA, JIANG XIANG-LIU
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-02-23
  • 刊出日期:  1990-06-05

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