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磷在硅表面氧化层中的扩散

李克诚 薛士蓥 祝忠德 黄詠

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磷在硅表面氧化层中的扩散

李克诚, 薛士蓥, 祝忠德, 黄詠

ДИФФУЗИЯ ФОСФОРА В ОКИСНОМ СЛОЕ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ

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出版历程
  • 收稿日期:  1964-03-13
  • 刊出日期:  2005-08-05

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