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重掺硼快速退火分子束外延硅的X射线衍射研究

许强 王建宝 袁健 陆昉 孙恒慧

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重掺硼快速退火分子束外延硅的X射线衍射研究

许强, 王建宝, 袁健, 陆昉, 孙恒慧

Xu Qiang, Wang Jian-Bao, Yuan Jian, Lu Fang, Sun Heng-Hui
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出版历程
  • 收稿日期:  1994-02-07
  • 刊出日期:  1995-03-20

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