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反应溅射法制备TiO2薄膜

赵坤 朱凤 王莉芳 孟铁军 张保澄 赵夔

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反应溅射法制备TiO2薄膜

赵坤, 朱凤, 王莉芳, 孟铁军, 张保澄, 赵夔

INVESTIGATIONS OF TiO2 FILMS PREPARED BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING

ZHAO KUN, ZHU FENG, WANG LI-FANG, MENG TIE-JUN, ZHANG BAO-CHENG, ZHAO KUI
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-10-21
  • 修回日期:  2001-02-07
  • 刊出日期:  2001-07-20

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