搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

CF4气体ICP等离子体中的双温电子特性

黄 松 宁兆元 辛 煜 甘肇强

引用本文:
Citation:

CF4气体ICP等离子体中的双温电子特性

黄 松, 宁兆元, 辛 煜, 甘肇强

Characteristics of two-electron-temperature in inductively coupled CF4 plasmas

Huang Song, Ning Zhao-Yuan, Xin Yu, Gan Zhao-Qiang
PDF
导出引用
  • 使用朗谬尔探针方法研究了低压CF4气体感应耦合等离子体(ICP)的放电特性.结果表明 ,CF4等离子体的电子呈现双温分布:一类是密度低、能量高的快电子,另一类是密度高 、能量低的慢电子.快电子温度The、慢电子温度Tce以及它们的平均 电子温度Te随射频输入功率的增加而下降;而它们的密度nhe,nce和ne随功率的增加而上升.从电子与气体粒子碰撞能量平衡的角度解释了双温电子特性与射频输入功率之间的关系.
    The characteristics in low-pressure inductively coupled CF4 plasma have been-inv estigated using a Langmuir probe method. Results for the CF4 gas have shown that there are two electron populations: one with low temperature and high densit y and the second w ith higher temperature and lower density, in this region. Fast electron temperat ure The, slow electron temperature Tceand mean electron tem perature Te decrease , while their densities nhe,nce, ne increase with in creasing r.f. input pow er. Our findings suggest that the dependence of two-electron-temperature on r. f.input power can be explained by the thermodynamic equilibrium of the collision between electrons and particles.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:40074032)资助的课题.
计量
  • 文章访问数:  7786
  • PDF下载量:  857
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2003-08-28
  • 修回日期:  2004-01-16
  • 刊出日期:  2004-05-05

/

返回文章
返回