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激光限制结晶技术制备nc-Si/SiO2多层膜

乔 峰 黄信凡 朱 达 马忠元 邹和成 隋妍萍 李 伟 周晓辉 陈坤基

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激光限制结晶技术制备nc-Si/SiO2多层膜

乔 峰, 黄信凡, 朱 达, 马忠元, 邹和成, 隋妍萍, 李 伟, 周晓辉, 陈坤基

NcSi/SiO2 multilayer prepared by the method of laser constrained crystallization

Qiao Feng, Huang Xin-Fan, Zhu Da, Ma Zhong-Yuan, Zou HeCheng, Sui Yan-Ping, Li Wei, Zhou Xiao-Hui, Chen Kun-Ji
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-12-30
  • 修回日期:  2004-03-18
  • 刊出日期:  2004-06-05

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