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Bi-Sb-Te基热电薄膜温差电池离子束溅射制备与表征

范平 蔡兆坤 郑壮豪 张东平 蔡兴民 陈天宝

杨祎巍, 张宏博, 李斌. 面向纳米电路的改进型卷积核可制造性模型建模研究. 物理学报, 2015, 64(5): 058501. doi: 10.7498/aps.64.058501
引用本文: 杨祎巍, 张宏博, 李斌. 面向纳米电路的改进型卷积核可制造性模型建模研究. 物理学报, 2015, 64(5): 058501. doi: 10.7498/aps.64.058501
Yang Yi-Wei, Zhang Hong-Bo, Li Bin. Improved convolution kernel based DFM model for nano-scale circuits. Acta Phys. Sin., 2015, 64(5): 058501. doi: 10.7498/aps.64.058501
Citation: Yang Yi-Wei, Zhang Hong-Bo, Li Bin. Improved convolution kernel based DFM model for nano-scale circuits. Acta Phys. Sin., 2015, 64(5): 058501. doi: 10.7498/aps.64.058501

Bi-Sb-Te基热电薄膜温差电池离子束溅射制备与表征

范平, 蔡兆坤, 郑壮豪, 张东平, 蔡兴民, 陈天宝

Fabrication and characterization of Bi-Sb-Te based thin film thermoelectric generator prepared by ion beam sputtering deposition

Fan Ping, Cai Zhao-Kun, Zheng Zhuang-Hao, Zhang Dong-Ping, Cai Xing-Min, Chen Tian-Bao
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-11-23
  • 修回日期:  2010-12-25
  • 刊出日期:  2011-09-15

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