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InGaZnO薄膜晶体管背板的层间Cu互连静电保护研究

马群刚 王海宏 张盛东 陈旭 王婷婷

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InGaZnO薄膜晶体管背板的层间Cu互连静电保护研究

马群刚, 王海宏, 张盛东, 陈旭, 王婷婷

Electro-static discharge protection analysis and design optimization of interlayer Cu interconnection in InGaZnO thin film transistor backplane

Ma Qun-Gang, Wang Hai-Hong, Zhang Sheng-Dong, Chen Xu, Wang Ting-Ting
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出版历程
  • 收稿日期:  2019-04-29
  • 修回日期:  2019-05-15
  • 上网日期:  2019-08-01
  • 刊出日期:  2019-08-05

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