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栅氧化层经时击穿的非平衡统计理论分析方法

赵文静 丁梦光 杨晓丽 胡海云

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栅氧化层经时击穿的非平衡统计理论分析方法

赵文静, 丁梦光, 杨晓丽, 胡海云

Nonequilibrium statistical theoretical analysis method of TDDB of gate oxide

Zhao Wen-Jing, Ding Meng-Guang, Yang Xiao-Li, Hu Hai-Yun
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出版历程
  • 收稿日期:  2020-01-15
  • 修回日期:  2020-02-26
  • 刊出日期:  2020-05-20

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